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半導(dǎo)體陶瓷靜電吸盤的作用


高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤),特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面積吸附,同時也可作氣浮平臺,廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸,裝置應(yīng)用僅限用于平坦,無孔表面的工作平臺。使用者通常是機(jī)器操作員。 在金屬加工領(lǐng)域,這是一項(xiàng)安全可靠的工件傳輸。

自動化移載、物件吸取、定位、精密網(wǎng)板印刷用工作臺,利用孔洞透氣性陶瓷(氧化鋁或碳化硅)接上真空吸力,將工作物(包括晶圓、玻璃、PET 膜或其它薄型工作物)放置陶瓷工作吸盤上,利用真空吸力使工作物固定,進(jìn)行清洗、切割、研磨、網(wǎng)版印刷及其它加工程序。

微孔真空陶瓷工作盤是各種半導(dǎo)體片生產(chǎn)過程中用于吸附及承載的專用工具,應(yīng)用于減薄、劃片、清洗、搬運(yùn)等工序。我公司生產(chǎn)的工作盤可以和日本、德國、以色列、美國及國產(chǎn)的設(shè)備配套使用,具有優(yōu)越的性能價格比。

本公司可生產(chǎn):2、3、4、5、6、8、12英寸的半導(dǎo)體片。

吸盤類型:微孔陶瓷

主要特點(diǎn):平面度、平行度好、組織致密均勻、強(qiáng)度高、通透性好、吸附力。

專業(yè)生產(chǎn)加工氧化鋁、氧化鋯、氮化硅、碳化硅陶瓷生產(chǎn)加工經(jīng)驗(yàn)。技術(shù)力量雄厚、設(shè)備精良,加工經(jīng)驗(yàn)豐富?,F(xiàn)有多臺精密數(shù)控設(shè)備、精密機(jī)床、以及各種領(lǐng)先的加工工藝和加工工具,并配備各種精密檢測儀器,以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。可根據(jù)客戶圖紙生產(chǎn)、加工各種規(guī)格、種類的精密陶瓷零件。產(chǎn)品精度高,性能良好,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、精密機(jī)械、軍工、醫(yī)療、科研等領(lǐng)域。

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