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專業(yè)從事靜電吸附技術(shù)研發(fā)/生產(chǎn)/應(yīng)用的創(chuàng)新技術(shù)企業(yè)
專業(yè)從事靜電吸附技術(shù)研發(fā)/生產(chǎn)/應(yīng)用的創(chuàng)新技術(shù)企業(yè)
眾所周知,靜電具備一定的吸附能力,在日常生活當(dāng)中制造一些小尷尬和小麻煩?？赡闶欠裰?靜電所生成的吸附力是否可以為我們所用?
一、技術(shù)概述
1、技術(shù)概述
靜電吸附系統(tǒng)利用電場力作為吸附力,通過柔性電極適應(yīng)表面粗糙度,針對柔性靜電吸附方式特殊性,首先分析了靜電吸附電極的工作原理,并對其電場分布及吸附電容影響因素進行研究,對吸附電極優(yōu)化設(shè)計方法給出指導(dǎo)。
2、工作原理
靜電吸附系統(tǒng)(ESC ADSORPTION SYSTEM),簡稱ESC SYSTEM,依據(jù)庫倫定律(兩個靜止的帶電粒子間的相互作用力)和洛倫茲定律(運動的電和在磁場中受的力),利用電磁力從而實現(xiàn)對物體有效地吸附。
ESC SYSTEM 靜電控制主機通過將直流電壓經(jīng)過增壓、濾波及倍壓處理,轉(zhuǎn)化為高壓靜電,靜電高壓經(jīng)過靜電吸附單元(以單極或雙電極輸入模式)形成靜電磁場,從而對物體(導(dǎo)體或非導(dǎo)體機制)進行靜電吸附。
3、結(jié)構(gòu)示意
(1)利用位于主體上電源產(chǎn)生靜電作用力(而不是被動的方法,使用范德華力)。
(2)能夠快速開啟和關(guān)閉。
(3)利用導(dǎo)電和非導(dǎo)電基板上間的靜電作用力。
(4)與兩種不同導(dǎo)體基質(zhì)所采用的吸附方式:
與導(dǎo)電基板→通過洛倫茲力夾取。
與非導(dǎo)電基板→通過極化作用力夾取。
二、產(chǎn)品優(yōu)勢
采用靜電吸附方式,可以避免對物體表面的摩擦,從而避免損失物體表面;對不規(guī)則且表面粗糙物體進行吸附;吸附微元器件;吸附易碎物品。
1、 靜電吸附系統(tǒng)優(yōu)點
許多機器采用的是機械運動或真空吸力,但這類機器體型很大,造價高昂,且耗電很高。傳統(tǒng)抓取搬運設(shè)備想要拿起特定的物體,還需要對它們進行配置。而如果對象是玻璃板這樣的脆弱物體,那它們也無能為力。
靜電吸附系統(tǒng)可舉起并運輸物體,其表面的電極可在幾乎任何物體之間產(chǎn)生并維持強大的吸附力,可以拿起任何物體,比如罐子、水果、盒子、箱子、玻璃板、硅膠板和纖維板。
2、 使用對比
ESC 靜電吸附系統(tǒng)可用于不規(guī)則、表面粗糙、無法磁性吸附或?qū)Ρ砻媲鍧嵍纫筝^高的物體抓取。
三、靜電吸附系統(tǒng)運用
靜電吸附系統(tǒng)技術(shù)在研發(fā)之初,就致力于解決半導(dǎo)體及OLED 顯示屏行業(yè)在生產(chǎn)制造過程中由于生產(chǎn)工藝或流程的缺陷而導(dǎo)致產(chǎn)品表面損傷、硅膠真空吸盤老化積塵等問題。
科技不斷追加研發(fā)資金,從原材料的選擇及覆膜方式,到控制方式及輸出方式形成一套完善的技術(shù)積累。第三代靜電吸附系統(tǒng)不僅吸附力大幅度提高,吸附穩(wěn)定性也得到大幅度提高,能夠最大限度的保證產(chǎn)品表面不會受到損害。
四、運用案例:
1、面板行業(yè)真空貼合;
2、半導(dǎo)體芯片封裝;
3、微電子集成電路;
4、精密光學(xué)元件制造;
5、太陽能光伏生產(chǎn)領(lǐng)域;
6、LED封裝。
五、 靜電吸附系統(tǒng)穩(wěn)定性
靜電吸附系統(tǒng)由靜電吸附控制器(靜電高壓源)、靜電吸附單元(靜電磁場)構(gòu)成及附件單元組成。靜電吸附主機具有漏電保護、電流過載保護及高壓脈沖保護;靜電吸附單元電極采用高頻導(dǎo)體,表面采用氮化鋁陶瓷覆膜,在保證輸出穩(wěn)定,同時避免高壓靜電壓尖銳擊穿。